1. Eliminació de partícules de pols a la sala neta lliure de pols
La funció principal de la sala neta és controlar la neteja, la temperatura i la humitat de l’atmosfera a la qual s’exposen productes (com ara xips de silici, etc.), de manera que els productes es poden produir i fabricar en un bon espai ambientada. Anomenem aquest espai com a habitació neta. Segons la pràctica internacional, el nivell de neteja es determina principalment pel nombre de partícules per metre cúbic d’aire amb un diàmetre superior a l’estàndard de classificació. Dit d'una altra manera, l'anomenada pols sense pols no està 100% sense pols, sinó que es controla en una unitat molt petita. Per descomptat, les partícules que compleixen l’estàndard de pols d’aquest estàndard ja són molt petites en comparació amb la pols comuna que veiem, però per a les estructures òptiques, fins i tot una mica de pols tindrà un impacte negatiu molt gran, de manera que sense pols és un requisit inevitable En la producció de productes d’estructura òptica.
Controlar el nombre de partícules de pols amb una mida de partícula superior o igual a 0,5 micres per metre cúbic a menys de 3520/metre cúbic arribarà a la classe A de la norma internacional sense pols. L’estàndard lliure de pols utilitzat en la producció i el processament a nivell de xip té requisits més elevats per a la pols que la classe A, i un estàndard tan alt s’utilitza principalment en la producció d’alguns xips de nivell superior. El nombre de partícules de pols es controla estrictament a 35.200 per metre cúbic, que es coneix comunament com a classe B a la indústria de les habitacions netes.
2. Tres tipus d’estats de les habitacions netes
Habitació neta buida: una instal·lació neta de les habitacions que s’ha construït i que es pot utilitzar. Té tots els serveis i funcions rellevants. Tot i això, no hi ha cap equipament operat per operadors a la instal·lació.
Sala neta estàtica: una instal·lació neta amb funcions completes, configuracions i instal·lacions adequades, que es poden utilitzar segons la configuració o que s’utilitza, però no hi ha operadors a la instal·lació.
Sala neta dinàmica: una habitació neta en ús normal, amb funcions de servei completes, equips i personal; Si cal, es pot dur a terme un treball normal.
3. Control d’elements
(1). Pot eliminar les partícules de pols flotant a l’aire.
(2). Pot prevenir la generació de partícules de pols.
(3). Control de la temperatura i la humitat.
(4). Regulació de la pressió.
(5). Eliminació de gasos nocius.
(6). Esqui de l’aire d’estructures i compartiments.
(7). Prevenció d’electricitat estàtica.
(8). Prevenció de la interferència electromagnètica.
(9). Consideració dels factors de seguretat.
(10). Consideració de l’estalvi d’energia.
4. Classificació
Tipus de flux turbulent
L’aire entra a la sala neta des de la caixa d’aire condicionat a través del conducte d’aire i el filtre d’aire (HEPA) a la sala neta i es torna dels panells de paret de partició o dels sòls elevats a banda i banda de la sala neta. El flux d'aire no es mou de manera lineal, sinó que presenta un estat turbulent o un eddy irregular. Aquest tipus és adequat per a la classe de 1.000-100.000 de classe.
Definició: una habitació neta on el flux d'aire flueix a una velocitat desigual i no és paral·lela, acompanyada de flux de retrocés o de corrent de remolí.
Principi: les sales netes turbulentes es basen en el flux d’aire de subministrament d’aire per diluir contínuament l’aire interior i diluir gradualment l’aire contaminat per aconseguir una neteja (les sales netes turbulentes es dissenyen generalment a nivells de neteja per sobre de 1.000 a 300.000).
CARACTERÍSTIQUES: Les sales netes turbulentes es basen en múltiples ventilació per assolir els nivells de neteja i neteja. El nombre de canvis de ventilació determina el nivell de purificació en la definició (més canvis de ventilació, més gran és el nivell de neteja)
(1) Temps d'auto-purificació: es refereix al moment en què la sala neta comença a subministrar aire a la sala neta segons el número de ventilació dissenyat i la concentració de pols a la sala arriba al nivell de neteja dissenyat a la classe 1.000 S’espera que la classe 10.000 es puguin utilitzar de 15 minuts (15 minuts per al càlcul). càlcul)
(2) Freqüència de ventilació (dissenyada segons els requisits de temps d’auto-neteja anteriors) Classe 1.000: 43.5-55,3 vegades/hora (estàndard: 50 vegades/hora) Classe 10.000: 23.8-28,6 vegades/hora (estàndard: 25 vegades/hora/hora ) Classe 100.000: 14.4-19,2 vegades/hora (estàndard: 15 vegades/hora)
Avantatges: Estructura simple, baix cost de construcció del sistema, habitació neta fàcil d’expandir, en alguns llocs de propòsit especial, es pot utilitzar un banc net sense pols per millorar el grau de la sala neta.
Desavantatges: les partícules de pols causades per les turbulències floen a l’espai interior i són difícils de descarregar, cosa que pot contaminar fàcilment els productes de procés. A més, si el sistema s’atura i s’activa, sovint es necessita molt temps per aconseguir la neteja necessària.
Flux laminar
L’aire de flux laminar es mou en una línia recta uniforme. L’aire entra a l’habitació a través d’un filtre amb una taxa de cobertura del 100% i es torna a través del sòl elevat o de les plaques de partició a banda i banda. Aquest tipus és adequat per utilitzar -lo en entorns nets amb qualificacions més altes de la sala neta, generalment de classe 1 ~ 100. Hi ha dos tipus:
(1) Flux laminar horitzontal: l'aire horitzontal es desprèn del filtre en una sola direcció i es torna pel sistema d'aire de retorn a la paret oposada. La pols es descarrega a l’aire lliure amb la direcció de l’aire. Generalment, la contaminació és més greu al costat aigües avall.
Avantatges: Estructura simple, pot arribar a ser estable en poc temps després de l’operació.
Desavantatges: el cost de la construcció és superior al flux turbulent i l’espai interior no és fàcil d’expandir.
(2) Flux laminar vertical: el sostre de l'habitació està completament cobert de filtres ULPA, i l'aire es bufa de dalt a baix, cosa que pot aconseguir una neteja més elevada. La pols generada durant el procés o pel personal es pot descarregar ràpidament a l’aire lliure sense afectar altres àrees de treball.
Avantatges: Estat estable fàcil de gestionar, es pot aconseguir en poc temps després que s’iniciï l’operació, i no afectada fàcilment per l’estat operatiu o els operadors.
Desavantatges: elevat cost de la construcció, difícil d’utilitzar de manera flexible, els penjadors del sostre ocupen molt d’espai i problemàtics per reparar i substituir filtres.
Tipus compost
El tipus compost és combinar o utilitzar el tipus de flux turbulent i el tipus de flux laminar, que poden proporcionar un aire ultra-net.
(1) Túnel net: utilitzeu filtres HEPA o ULPA per cobrir el 100% de l’àrea o l’àrea de treball del procés per augmentar el nivell de neteja fins a la classe 10 superior, que pot estalviar costos d’instal·lació i funcionament.
Aquest tipus requereix que l’àrea de treball de l’operador estigui aïllada del manteniment del producte i de la màquina per evitar afectar el treball i la qualitat durant el manteniment de la màquina.
Els túnels nets tenen altres dos avantatges: A. Fàcil d’expandir -se de manera flexible; B. El manteniment dels equips es pot realitzar fàcilment a la zona de manteniment.
(2) Tubà net: envoltar i purificar la línia de producció automàtica a través de la qual passa el flux del producte i augmentar el nivell de neteja fins a la classe 100. Perquè el producte, l'operador i l'entorn que generen pols estan aïllats els uns dels altres, una petita quantitat de El subministrament d’aire pot aconseguir una bona neteja, que pot estalviar energia i és més adequat per a línies de producció automatitzades que no requereixen mà d’obra manual. És aplicable a les indústries farmacèutiques, alimentàries i semiconductors.
(3) Spot net: el nivell de neteja de la zona del procés del producte a la sala neta turbulenta amb un nivell de sala neta de 10.000 ~ 100.000 augmenta fins a 10 ~ 1000 o superior a efectes de producció; Netegeu els bancs de treball, els coberts nets, les habitacions netes prefabrades i els armaris nets pertanyen a aquesta categoria.
Banc net: classe 1 ~ 100.
Nete Booth: un espai reduït envoltat de tela de plàstic transparent antiestàtic a l'espai turbulent de l'habitació neta, utilitzant unitats independents de HEPA o ULPA i de climatització per convertir-se en un espai net de nivell superior, amb un nivell de 10 ~ 1000 2,5 metres i una superfície de cobertura d’uns 10m2 o menys. Té quatre pilars i està equipat amb rodes mòbils per a un ús flexible.
5. Flux de flux d’aire
Importància del flux d'aire
La neteja d’una habitació neta sovint es veu afectada pel flux d’aire. Dit d’una altra manera, el moviment i la difusió de la pols generades per persones, compartiments de màquines, estructures d’edificació, etc. estan controlats per un flux d’aire.
La sala neta utilitza HEPA i ULPA per filtrar l’aire, i la seva taxa de recollida de pols és fins al 99,97 ~ 99.99995%, de manera que es pot dir que l’aire filtrat per aquest filtre és molt net. Tot i això, a més de la gent, també hi ha fonts de pols com ara màquines a la sala neta. Un cop repartides aquestes pols generades, és impossible mantenir un espai net, de manera que el flux d’aire s’ha d’utilitzar per descarregar ràpidament la pols generada a l’aire lliure.
Factors influents
Hi ha molts factors que afecten el flux d’aire d’una habitació neta, com ara equips de procés, personal, materials de muntatge de les habitacions netes, accessoris d’il·luminació, etc. consideració.
El punt de desviació del flux d’aire a la superfície d’una taula d’operacions generals o equips de producció s’ha d’establir a 2/3 de la distància entre l’espai de la sala neta i la placa de partició. D’aquesta manera, quan l’operador funciona, el flux d’aire pot fluir des de l’interior de l’àrea de procés fins a la zona operativa i treure la pols; Si el punt de desviació es configura davant de l’àrea del procés, es convertirà en un desviament de flux d’aire inadequat. En aquest moment, la major part del flux d’aire sortirà a la part posterior de l’àrea del procés i la pols causada per l’operació de l’operador es portarà a la part posterior de l’equip i el banc de treball estarà contaminat i el rendiment disminuirà inevitablement.
Els obstacles, com ara les taules de treball a les habitacions netes, tindran corrents remuntables a la cruïlla i la neteja a prop d’elles serà relativament pobra. La perforació d’un forat d’aire de retorn a la taula de treball minimitzarà el fenomen de corrent de l’Eddy; Si la selecció de materials de muntatge és adequada i si la disposició de l’equip és perfecte també són factors importants per a si el flux d’aire es converteix en un fenomen de corrent de corrent.
6. Composició de l'habitació neta
La composició de la sala neta es compon dels sistemes següents (cap dels quals és indispensable a les molècules del sistema), en cas contrari, no serà possible formar una sala neta completa i de gran qualitat:
(1) Sistema de sostre: inclosa la barra de sostre, el feix I o el feix U, la reixeta del sostre o el marc del sostre.
(2) Sistema de climatització: incloent cabina d'aire, sistema de filtres, molí de vent, etc.
(3) Mur parcial: incloses finestres i portes.
(4) Planta: inclòs el sòl elevat o el sòl antiestàtic.
(5) Il·luminació: làmpada plana de purificació de LED.
L’estructura principal de la sala neta és generalment feta de barres d’acer o ciment òssia, però, independentment de quin tipus d’estructura sigui, ha de complir les condicions següents:
A. No es produiran esquerdes a causa dels canvis de temperatura i vibracions;
B. No és fàcil produir partícules de pols i és difícil que les partícules s’uneixin;
C. baixa higroscopicitat;
D. Per tal de mantenir les condicions d’humitat a l’habitació neta, l’aïllament tèrmic ha de ser elevat;
7. Classificació per ús
Habitació neta industrial
El control de les partícules inanimades és l'objecte. Controla principalment la contaminació de les partícules de pols d’aire a l’objecte de treball i l’interior generalment manté un estat de pressió positiu. És adequat per a la indústria de maquinària de precisió, la indústria de l'electrònica (semiconductors, circuits integrats, etc.), indústria aeroespacial, indústria química d'alta puresa, indústria de l'energia atòmica, indústria de productes òptics i magnètics (CD, cinema, producció de cinta) LCD (cristall líquid vidre), disc dur de l’ordinador, producció de capçalera i altres indústries.
Habitació neta biològica
Controla principalment la contaminació de les partícules vives (bacteris) i les partícules inanimades (pols) a l’objecte de treball. Es pot dividir en;
A. Sala de neteja biològica general: controla principalment la contaminació d’objectes microbians (bacterians). Al mateix temps, els seus materials interns han de ser capaços de suportar l’erosió de diversos agents esterilitzadors i l’interior generalment garanteix una pressió positiva. Essencialment, els materials interns han de ser capaços de suportar diversos tractaments d’esterilització de la sala neta industrial. Exemples: indústria farmacèutica, hospitals (quiròfans, sales estèrils), aliments, cosmètics, producció de productes de begudes, laboratoris d’animals, laboratoris de proves físiques i químiques, estacions de sang, etc.
B. Seguretat biològica Sala neta: controla principalment la contaminació de les partícules vives de l’objecte de treball al món exterior i a les persones. La pressió interna s’ha de mantenir negativa amb l’atmosfera. Exemples: bacteriologia, biologia, laboratoris nets, enginyeria física (gens recombinants, preparació de la vacuna)
Posada Posada: 07-07-2025