El rendiment de xip a la indústria de fabricació de xip està estretament relacionat amb la mida i el nombre de partícules d’aire dipositades al xip. Una bona organització del flux d’aire pot treure partícules generades a partir de fonts de pols allunyades de l’habitació neta i assegurar la neteja de la sala neta. És a dir, l’organització del flux d’aire a la sala neta té un paper vital en el rendiment de la producció de xip. Els objectius a assolir en el disseny de l’organització del flux d’aire net de la sala són: reduir o eliminar els corrents de remolí al camp de flux per evitar la retenció de partícules nocives; Per mantenir un gradient de pressió positiu adequat per evitar la contaminació creuada.
Segons el principi de la sala neta, les forces que actuen sobre partícules inclouen força de massa, força molecular, atracció entre partícules, força de flux d’aire, etc.
Força del flux d’aire: es refereix a la força del flux d’aire causat pel flux d’aire de subministrament i retorn, el flux d’aire de convecció tèrmica, l’agitació artificial i altres fluxos d’aire amb un cert cabal per portar partícules. Per al control de la tecnologia ambiental de les habitacions netes, la força de flux d’aire és el factor més important.
Els experiments han demostrat que en el moviment del flux d'aire, les partícules segueixen el flux d'aire a gairebé exactament la mateixa velocitat. La condició de partícules a l’aire està determinada per la distribució del flux d’aire. Els principals efectes del flux d’aire sobre les partícules interiors inclouen el flux d’aire de subministrament d’aire (inclòs el flux d’aire primari i el flux d’aire secundari), el flux d’aire i el flux d’aire de convecció tèrmica causada per persones que caminen i l’impacte del flux d’aire sobre les partícules causades per les operacions de procés i els equips industrials. Diferents mètodes de subministrament d’aire, interfícies de velocitat, operadors i equips industrials, fenòmens induïts, etc. A les sales netes són tots els factors que afecten el nivell de neteja.
1. Influència del mètode de subministrament d’aire
(1) Velocitat de subministrament d'aire
Per tal d’assegurar el flux d’aire uniforme, la velocitat de subministrament d’aire a la sala neta del flux unidireccional ha de ser uniforme; La zona morta de la superfície de subministrament de l’aire ha de ser petita; I la caiguda de pressió dins del filtre HEPA també ha de ser uniforme.
La velocitat de subministrament d’aire és uniforme: és a dir, la desnivell del flux d’aire es controla dins del ± 20%.
Hi ha menys espai mort a la superfície de subministrament de l’aire: no només s’ha de reduir l’àrea plana del marc HEPA, sinó que el que és més important, la FFU modular s’hauria d’utilitzar per simplificar el marc redundant.
Per tal d’assegurar -se que el flux d’aire sigui vertical i unidireccional, la selecció de caiguda de pressió del filtre també és molt important i es requereix que la pèrdua de pressió dins del filtre no es pugui esbiaixar.
(2) Comparació entre el sistema FFU i el sistema de ventiladors de flux axial
La FFU és una unitat de subministrament d’aire amb ventilador i filtre HEPA. L’aire és xuclat pel ventilador centrífuga de la FFU i converteix la pressió dinàmica en pressió estàtica al conducte d’aire. Es bufa uniformement pel filtre HEPA. La pressió de subministrament d’aire al sostre és la pressió negativa. D’aquesta manera, cap pols es filtrarà a l’habitació neta en substituir el filtre. Els experiments han demostrat que el sistema FFU és superior al sistema de ventilador de flux axial en termes de uniformitat de sortida d'aire, paral·lelisme del flux d'aire i índex d'eficiència de ventilació. Això es deu al fet que el paral·lelisme del flux d’aire del sistema FFU és millor. L’ús del sistema FFU pot millorar l’organització del flux d’aire a la sala neta.
(3) Influència de la pròpia estructura de la FFU
La FFU es compon principalment de ventiladors, filtres, guies de flux d’aire i altres components. El filtre HEPA és la garantia més important per a l’habitació neta per aconseguir la neteja requerida pel disseny. El material del filtre també afectarà la uniformitat del camp de flux. Quan s’afegeix un material de filtre rugós o una placa de flux a la presa de filtres, el camp de flux de sortida es pot fer fàcilment uniforme.
2. Impacte de la interfície de velocitat amb una neteja diferent
A la mateixa habitació neta, entre la zona de treball i la zona que no treballa amb un flux unidireccional vertical, a causa de la diferència de velocitat de l’aire a la caixa HEPA, es produirà un efecte vòrtex mixt a la interfície i aquesta interfície es convertirà en una turbulència Zona del flux d’aire. La intensitat de la turbulència de l’aire és particularment forta i es poden transmetre partícules a la superfície de la màquina d’equips i contaminar els equips i les hòsties.
3. Impacte sobre el personal i els equips
Quan la sala neta està buida, les característiques del flux d'aire a l'habitació solen complir els requisits de disseny. Una vegada que els equips entren a la sala neta, les persones es mouen i es transporten els productes, inevitablement hi ha obstacles a l’organització del flux d’aire, com ara punts afilats que sobresurten de la màquina d’equips. A les cantonades o a les vores, el gas es desviarà per formar una superfície de flux turbulent i el fluid de la zona no serà fàcilment transportat pel gas entrant, provocant així la contaminació.
Al mateix temps, la superfície dels equips mecànics s’escalfarà a causa d’un funcionament continu i el gradient de temperatura provocarà una zona de refrigeració a prop de la màquina, cosa que augmenta l’acumulació de partícules a la zona de refutament. Al mateix temps, l’alta temperatura farà que les partícules s’escapin. L’efecte doble intensifica la capa vertical general. La dificultat de controlar la neteja del corrent. La pols dels operadors en habitació neta pot adherir -se fàcilment a les hòsties en aquestes zones de refrigeració.
4. Influència del sòl d’aire de retorn
Quan la resistència de l’aire de retorn que passa pel terra és diferent, es produirà la diferència de pressió, provocant que l’aire flueixi en direcció a la petita resistència i no s’obtindrà un flux d’aire uniforme. El mètode de disseny popular actual és utilitzar un pis elevat. Quan la proporció d'obertura del sòl elevat és del 10%, la velocitat del flux d'aire es pot distribuir de manera uniforme a l'alçada de treball interior. A més, cal prestar una atenció estricta als treballs de neteja per reduir la font de contaminació al terra.
5. Fenomen d’inducció
L’anomenat fenomen d’inducció es refereix al fenomen de generar flux d’aire en el sentit contrari al flux uniforme, induint pols generat a l’habitació o pols en zones contaminades adjacents al costat amunt, provocant així la pols de contaminar la hòstia. Els possibles fenòmens induïts inclouen els següents:
(1) Placa cega
En una habitació neta amb flux vertical, a causa de les articulacions de la paret, hi ha generalment grans panells cecs que produiran un flux turbulent i un retrocés local.
(2) làmpades
Els accessoris d’il·luminació a l’habitació neta tindran un impacte més gran. Atès que la calor de la làmpada fluorescent fa que el flux d'aire augmenti, la làmpada fluorescent no es convertirà en una zona turbulenta. Generalment, les làmpades de la sala neta estan dissenyades en forma de llàgrima per reduir l’impacte de les làmpades a l’organització del flux d’aire.
(3) Braps entre parets
Quan hi ha buits entre parets de partició o sostres amb diferents requisits de neteja, la pols de zones amb requisits de neteja baixa es pot transferir a zones adjacents amb requisits elevats de neteja.
(4) La distància entre l'equip mecànic i el terra o la paret
Si la bretxa entre l'equip mecànic i el sòl o la paret és petita, es produirà una turbulència de rebot. Per tant, deixeu un buit entre l'equip i la paret i aixequeu la plataforma de màquines per evitar el contacte directe amb el terra.
Post Horari: 02 de novembre de 2013