Les sales blanques també s'anomenen sales sense pols. S'utilitzen per descarregar contaminants com ara partícules de pols, aire nociu i bacteris a l'aire dins d'un espai determinat, i per controlar la temperatura interior, la neteja, la pressió interior, la velocitat i la distribució del flux d'aire, el soroll i la vibració, la il·luminació i l'electricitat estàtica dins d'un rang determinat. A continuació es descriuen principalment les quatre condicions necessàries per assolir els requisits de neteja en les mesures de purificació de sales blanques.
1. Neteja del subministrament d'aire
Per garantir que la neteja del subministrament d'aire compleixi els requisits, la clau és el rendiment i la instal·lació del filtre final del sistema de purificació. El filtre final del sistema de sala blanca generalment utilitza un filtre HEPA o un filtre sub-HEPA. Segons els estàndards nacionals, l'eficiència dels filtres HEPA es divideix en quatre graus: la classe A és ≥99,9%, la classe B és ≥99,99%, la classe C és ≥99,999%, la classe D és (per a partícules ≥0,1 μm) ≥99,999% (també conegut com a filtres ultra-HEPA); els filtres sub-HEPA són (per a partícules ≥0,5 μm) 95~99,9%.
2. Organització del flux d'aire
L'organització del flux d'aire d'una sala blanca és diferent de la d'una sala amb aire condicionat general. Requereix que primer es lliuri l'aire més net a la zona d'operació. La seva funció és limitar i reduir la contaminació dels objectes processats. Les diferents organitzacions del flux d'aire tenen les seves pròpies característiques i abastos: Flux unidireccional vertical: tots dos poden obtenir un flux d'aire descendent uniforme, facilitar la disposició dels equips de procés, tenir una forta capacitat d'autopurificació i poden simplificar instal·lacions comunes com ara les instal·lacions personals de la sala blanca. Els quatre mètodes de subministrament d'aire també tenen els seus propis avantatges i desavantatges: els filtres HEPA totalment coberts tenen els avantatges d'una baixa resistència i un cicle de substitució del filtre llarg, però l'estructura del sostre és complexa i el cost és elevat; els avantatges i desavantatges del subministrament superior del filtre HEPA cobert lateralment i el subministrament superior de placa de forat complet són oposats als del subministrament superior del filtre HEPA completament cobert. Entre ells, el subministrament superior de placa de forat complet és propens a l'acumulació de pols a la superfície interior de la placa d'orifici quan el sistema no funciona contínuament, i un manteniment deficient tindrà algun impacte en la neteja; El subministrament superior d'un difusor dens requereix una capa de barreja, per la qual cosa només és adequat per a sales blanques altes de més de 4 m, i les seves característiques són similars a les del subministrament superior de placa de forat complet; el mètode d'aire de retorn per a les plaques amb reixes a banda i banda i les sortides d'aire de retorn disposades uniformement a la part inferior de les parets a banda i banda només és adequat per a sales blanques amb una separació neta inferior a 6 m a banda i banda; les sortides d'aire de retorn a la part inferior de la paret d'un sol costat només són adequades per a sales blanques amb una petita separació entre parets (com ara ≤2~3 m). Flux unidireccional horitzontal: només la primera zona de treball arriba al nivell de neteja 100. Quan l'aire flueix cap a l'altre costat, la concentració de pols augmenta gradualment. Per tant, només és adequat per a sales blanques amb diferents requisits de neteja per al mateix procés. La distribució local dels filtres HEPA a la paret de subministrament d'aire pot reduir l'ús de filtres HEPA i estalviar la inversió inicial, però hi ha remolins a les zones locals. Flux d'aire turbulent: les característiques del subministrament superior de les plaques d'orifici i el subministrament superior dels difusors densos són les mateixes que les esmentades anteriorment. Els avantatges del subministrament lateral són la fàcil disposició de les canonades, l'absència de capes intermèdies tècniques, el baix cost i la seva facilitat per a la renovació de fàbriques antigues. Els desavantatges són que la velocitat del vent a la zona de treball és gran i la concentració de pols al costat de sotavent és més alta que a la del costat de sobrevent. El subministrament superior de les sortides del filtre HEPA té els avantatges d'un sistema senzill, sense canonades darrere del filtre HEPA i un flux d'aire net subministrat directament a la zona de treball, però el flux d'aire net es difon lentament i el flux d'aire a la zona de treball és més uniforme. Tanmateix, quan diverses sortides d'aire estan disposades uniformement o s'utilitzen sortides de filtre HEPA amb difusors, el flux d'aire a la zona de treball també es pot fer més uniforme. Tanmateix, quan el sistema no funciona contínuament, el difusor és propens a l'acumulació de pols.
3. Volum de subministrament d'aire o velocitat de l'aire
Un volum de ventilació suficient és per diluir i eliminar l'aire contaminat interior. Segons els diferents requisits de neteja, quan l'alçada neta de la sala blanca és alta, la freqüència de ventilació s'ha d'augmentar adequadament. Entre ells, el volum de ventilació de la sala blanca d'1 milió es considera segons el sistema de sala blanca d'alta eficiència i la resta es considera segons el sistema de sala blanca d'alta eficiència; quan els filtres HEPA de la sala blanca de classe 100.000 es concentren a la sala de màquines o els filtres sub-HEPA s'utilitzen al final del sistema, la freqüència de ventilació es pot augmentar adequadament entre un 10% i un 20%.
4. Diferència de pressió estàtica
Mantenir una certa pressió positiva a la sala blanca és una de les condicions essencials per garantir que la sala blanca no estigui contaminada o menys per mantenir el nivell de neteja dissenyat. Fins i tot per a una sala blanca de pressió negativa, ha de tenir una habitació o suite adjacent amb un nivell de neteja no inferior al seu nivell per mantenir una certa pressió positiva, de manera que es pugui mantenir la neteja de la sala blanca de pressió negativa. El valor de pressió positiva de la sala blanca es refereix al valor quan la pressió estàtica interior és superior a la pressió estàtica exterior quan totes les portes i finestres estan tancades. S'aconsegueix mitjançant el mètode que el volum de subministrament d'aire del sistema de purificació és superior al volum d'aire de retorn i al volum d'aire d'escapament. Per garantir el valor de pressió positiva de la sala blanca, és millor interbloquejar els ventiladors de subministrament d'aire, aire de retorn i extractor. Quan el sistema està engegat, primer s'engega el ventilador de subministrament i després s'engega el ventilador de retorn i el ventilador d'escapament; quan el sistema està apagat, primer s'apaga el ventilador d'escapament i després s'apaga el ventilador de retorn i el ventilador de subministrament per evitar que la sala blanca es contamini quan el sistema està engegat i apagat. El volum d'aire necessari per mantenir la pressió positiva de la sala blanca està determinat principalment per l'estanquitat de l'estructura de manteniment. En la fase inicial de la construcció de sales blanques a la Xina, a causa de la mala estanquitat de l'estructura de tancament, es necessitaven 2~6 vegades/h de subministrament d'aire per mantenir una pressió positiva de ≥5Pa; actualment, l'estanquitat de l'estructura de manteniment s'ha millorat molt, i només es necessiten 1~2 vegades/h de subministrament d'aire per mantenir la mateixa pressió positiva; només es necessiten 2~3 vegades/h de subministrament d'aire per mantenir ≥10Pa. Les especificacions de disseny nacionals estipulen que la diferència de pressió estàtica entre sales blanques de diferents nivells i entre zones netes i zones no netes no ha de ser inferior a 0,5 mmH2O (~5Pa), i la diferència de pressió estàtica entre la zona neta i l'exterior no ha de ser inferior a 1,0 mmH2O (~10Pa).
Data de publicació: 03-03-2025