La protecció ambiental es presta cada cop més atenció, sobretot amb l’augment del clima de la fosca. L’enginyeria neta d’habitacions és una de les mesures de protecció ambiental. Com utilitzar l’enginyeria neta d’habitacions per fer un bon treball en protecció ambiental? Parlem del control de l’enginyeria de les habitacions netes.
Control de temperatura i humitat a l'habitació neta
La temperatura i la humitat dels espais nets es determinen principalment en funció dels requisits del procés, però quan es compleixin els requisits del procés, cal tenir en compte la comoditat humana. Amb la millora dels requisits de neteja de l’aire, hi ha una tendència de requisits més estrictes per a la temperatura i la humitat en el procés.
Com a principi general, a causa de la precisió creixent del processament, els requisits per al rang de fluctuació de la temperatura són cada cop més petits. Per exemple, en el procés de litografia i exposició de la producció de circuits integrats a gran escala, la diferència en el coeficient d’expansió tèrmica entre les hòsties de vidre i silici utilitzades com a materials de màscara és cada cop més petita.
Una hòstia de silici amb un diàmetre de 100 μ m provoca una expansió lineal de 0,24 μ m quan la temperatura puja 1 grau. Per tant, és necessària una temperatura constant de ± 0,1 ℃ i el valor d’humitat és generalment baix perquè després de la sudoració, el producte estarà contaminat, especialment en tallers de semiconductors que tenen por de sodi. Aquest tipus de taller no ha de superar els 25 ℃.
La humitat excessiva causa més problemes. Quan la humitat relativa supera el 55%, la condensació es formarà a la paret de la canonada d’aigua de refrigeració. Si es produeix en dispositius o circuits de precisió, pot causar diversos accidents. Quan la humitat relativa és del 50%, és fàcil d’oxidar -se. A més, quan la humitat és massa alta, la pols que s’adhereix a la superfície de l’hòstia de silici s’absorbeix químicament a la superfície a través de molècules d’aigua a l’aire, difícil d’eliminar.
Com més alta sigui la humitat relativa, més difícil és eliminar l’adhesió. Tanmateix, quan la humitat relativa està per sota del 30%, les partícules també s’absorbeixen fàcilment a la superfície a causa de l’acció de la força electrostàtica i un gran nombre de dispositius semiconductors són propensos a la ruptura. El rang de temperatura òptim per a la producció d’hòsties de silici és del 35-45%.
Pressió de l’airecontrolEn habitació neta
Per a la majoria dels espais nets, per evitar que la contaminació externa s’invasi, cal mantenir la pressió interna (pressió estàtica) superior a la pressió externa (pressió estàtica). El manteniment de la diferència de pressió hauria de complir generalment els principis següents:
1. La pressió en espais nets ha de ser superior a la dels espais no nets.
2. La pressió en espais amb nivells de neteja elevats ha de ser superior a la dels espais adjacents amb nivells baixos de neteja.
3. Les portes entre habitacions netes s’han d’obrir cap a habitacions amb nivells elevats de neteja.
El manteniment de la diferència de pressió depèn de la quantitat d’aire fresc, que hauria de ser capaç de compensar la fuga d’aire de la bretxa sota aquesta diferència de pressió. De manera que el significat físic de la diferència de pressió és la resistència de les fuites (o infiltració) del flux d’aire a través de diverses llacunes a l’habitació neta.
Posada Posada: Jul-21-2023