La protecció del medi ambient rep cada cop més atenció, especialment amb l'augment de la boirina. L'enginyeria de sales blanques és una de les mesures de protecció del medi ambient. Com utilitzar l'enginyeria de sales blanques per fer una bona feina en la protecció del medi ambient? Parlem del control en l'enginyeria de sales blanques.
Control de temperatura i humitat en sala blanca
La temperatura i la humitat dels espais nets es determinen principalment en funció dels requisits del procés, però a l'hora de complir els requisits del procés, s'ha de tenir en compte el confort humà. Amb la millora dels requisits de neteja de l'aire, hi ha una tendència a requisits més estrictes de temperatura i humitat en el procés.
Com a principi general, a causa de la creixent precisió del processament, els requisits pel que fa al rang de fluctuació de temperatura són cada cop més petits. Per exemple, en el procés de litografia i exposició de la producció de circuits integrats a gran escala, la diferència en el coeficient de dilatació tèrmica entre les oblies de vidre i de silici utilitzades com a materials de màscara és cada cop més petita.
Una oblia de silici amb un diàmetre de 100 μm provoca una expansió lineal de 0,24 μm quan la temperatura augmenta 1 grau. Per tant, cal una temperatura constant de ± 0,1 ℃ i el valor d'humitat és generalment baix perquè després de la suor, el producte es contaminarà, especialment en tallers de semiconductors que tenen por del sodi. Aquest tipus de taller no hauria de superar els 25 ℃.
L'excés d'humitat causa més problemes. Quan la humitat relativa supera el 55%, es forma condensació a la paret del tub d'aigua de refrigeració. Si es produeix en dispositius o circuits de precisió, pot causar diversos accidents. Quan la humitat relativa és del 50%, és fàcil que s'oxidi. A més, quan la humitat és massa alta, la pols adherida a la superfície de la oblia de silici s'adsorbirà químicament a la superfície a través de les molècules d'aigua de l'aire, cosa que és difícil d'eliminar.
Com més alta sigui la humitat relativa, més difícil serà eliminar l'adhesió. Tanmateix, quan la humitat relativa és inferior al 30%, les partícules també s'adsorbeixen fàcilment a la superfície a causa de l'acció de la força electrostàtica, i un gran nombre de dispositius semiconductors són propensos a avariar-se. El rang de temperatura òptim per a la producció de oblies de silici és del 35-45%.
Pressió de l'airecontrola la sala blanca
Per a la majoria d'espais nets, per evitar que la contaminació externa envaeixi, cal mantenir la pressió interna (pressió estàtica) més alta que la pressió externa (pressió estàtica). El manteniment de la diferència de pressió generalment ha de complir els principis següents:
1. La pressió en espais nets ha de ser més alta que en espais no nets.
2. La pressió en espais amb alts nivells de neteja hauria de ser més alta que la dels espais adjacents amb baixos nivells de neteja.
3. Les portes entre les sales blanques s'han d'obrir cap a les sales amb nivells de neteja elevats.
El manteniment de la diferència de pressió depèn de la quantitat d'aire fresc, que hauria de ser capaç de compensar la fuita d'aire de l'espai sota aquesta diferència de pressió. Per tant, el significat físic de la diferència de pressió és la resistència al flux d'aire de fuita (o infiltració) a través de diversos espais en una sala blanca.
Data de publicació: 21 de juliol de 2023