La protecció del medi ambient es presta cada cop més atenció, especialment amb l'augment del clima de boira.L'enginyeria de sales netes és una de les mesures de protecció del medi ambient.Com utilitzar l'enginyeria de sales netes per fer una bona feina en la protecció del medi ambient?Parlem del control en enginyeria de sales netes.
Control de temperatura i humitat en sala blanca
La temperatura i la humitat dels espais nets es determinen principalment en funció dels requisits del procés, però quan es compleixen els requisits del procés, s'ha de tenir en compte la comoditat humana.Amb la millora dels requisits de neteja de l'aire, hi ha una tendència a requisits més estrictes de temperatura i humitat en procés.
Com a principi general, a causa de la creixent precisió del processament, els requisits per al rang de fluctuació de temperatura són cada cop més petits.Per exemple, en el procés de litografia i exposició de la producció de circuits integrats a gran escala, la diferència en el coeficient d'expansió tèrmica entre les hòsties de vidre i silici utilitzades com a materials de màscara és cada cop més petita.
Una hòstia de silici amb un diàmetre de 100 μ m provoca una expansió lineal de 0,24 μ m quan la temperatura augmenta 1 grau.Per tant, és necessària una temperatura constant de ± 0,1 ℃ i el valor d'humitat és generalment baix perquè després de suar, el producte es contaminarà, especialment en tallers de semiconductors que tenen por del sodi.Aquest tipus de taller no ha de superar els 25 ℃.
L'excés d'humitat causa més problemes.Quan la humitat relativa supera el 55%, es formarà condensació a la paret de la canonada d'aigua de refrigeració.Si es produeix en dispositius o circuits de precisió, pot provocar diversos accidents.Quan la humitat relativa és del 50%, és fàcil d'oxidar-se.A més, quan la humitat és massa alta, la pols que s'adhereix a la superfície de l'hòstia de silici s'adsorbeix químicament a la superfície a través de molècules d'aigua a l'aire, que és difícil d'eliminar.
Com més gran sigui la humitat relativa, més difícil serà eliminar l'adhesió.Tanmateix, quan la humitat relativa és inferior al 30%, les partícules també s'adsorbeixen fàcilment a la superfície a causa de l'acció de la força electrostàtica, i un gran nombre de dispositius semiconductors són propensos a trencar-se.El rang de temperatura òptim per a la producció d'hòsties de silici és del 35-45%.
Pressió de l'airecontrola l'habitació neta
Per a la majoria d'espais nets, per evitar que la contaminació externa envaeixi, cal mantenir una pressió interna (pressió estàtica) superior a la pressió externa (pressió estàtica).El manteniment de la diferència de pressió ha de complir, en general, els principis següents:
1. La pressió en espais nets ha de ser superior a la dels espais no nets.
2. La pressió en espais amb nivells de neteja elevats ha de ser superior a la dels espais adjacents amb nivells de neteja baixos.
3. Les portes entre sales netes s'han d'obrir cap a habitacions amb nivells de neteja elevats.
El manteniment de la diferència de pressió depèn de la quantitat d'aire fresc, que hauria de ser capaç de compensar la fuita d'aire de l'espai sota aquesta diferència de pressió.Així, el significat físic de la diferència de pressió és la resistència al flux d'aire de fuites (o infiltració) a través de diversos buits a la sala neta.
Hora de publicació: 21-jul-2023